多片立式放置晶圓舟的產品要求

將地球上取之不盡、用之不竭的二氧化硅礦石，放入溫度約2000℃的電弧熔煉爐中，高溫下，碳和二氧化硅化學反應得到純度98%左右的冶金級硅，將其粉碎后與氣態氯化氫進行氯化反應生產液態硅烷，然后通過蒸餾話化學還原得到高純度電子級多晶硅。硅晶圓制造廠將這種多晶硅加熱融解，放入一根硅晶體籽晶，與熔融液接觸并將其緩慢拉出成型，這種單晶硅棒就叫長晶。硅晶棒再經過切片、磨片、倒角、熱處理、拋光、清洗等工序，形成集成電路產業重要的原材料硅晶圓，硅片。空白的硅晶圓經過復雜的化學和電子制程后，可布設多層精細的電子電路，在晶圓廠內制造芯片電路后，再經過切割、測試、封裝等程序，就可以成為一顆顆的IC芯片。

現階段中國的晶圓制造材料市場的總體規模處于擴張期，增速明顯。國內的晶圓制造材料產業已經具備一定基礎，并在一些核心高端領域破局，打破壟斷形成替代。國內晶圓工廠未來的擴產規范十分巨大。多片立式放置晶圓舟作為承載晶圓的周轉容器，被廣泛應用于晶圓的生產制程中或者出貨過程中，由于半導體行業的發展，對晶圓舟的需求也進一步激增。晶圓舟用于晶圓的清潔、裝載、保管、移送或者自動化工程中的使用，按照用途可以分為清潔流程的耐化學清潔載具、烘烤加工流程中的耐高溫工藝載具和出貨移送過程中的普通周轉載具。

晶圓舟為了適應自動化流水線，通常采用一定的標準定制：開槽式清洗槽孔設計有利于晶圓的清洗、瀝干和烘烤；立式放置的方式提高了晶圓的穩定稅票安定性；設計標準的機械接口以對接晶片的生產設備。另外為了防止金屬污染晶圓，通常晶圓舟都是采用塑膠材料，并且為了防止靜電危害，要采用防靜電塑膠。

導電防靜電塑膠應用

啟富塑膠作為優秀的導電化合物供應商，致力于為客戶提供類型多樣的導電防靜電產品和定制設計的ESD塑料解決方案，我們的導電化合物的性能適用于各種應用。

啟富塑膠在半導體載具行業有豐富的材料研發生產經驗，并針對不同的客戶和工藝需求可提供定制化的導電防靜電改性塑料，廣泛應用于晶圓制造生產的各個工序，我們的研發工程師開發了多種特性的導電防靜電改性塑料營業與不同的晶圓生產工藝。

普通周轉晶圓舟推薦采用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導電防靜電PP、本色防靜電ABS、本色防靜電PBT等材質，這些黑色導電防靜電材料添加炭黑有較低的成本用于普通周轉用晶圓舟上具備很好的經濟效益，而本色防靜電材料添加的高聚物抗靜電母粒可定制不同的顏色，方便在制程中分站管理，提高生產效率，防靜電的材料能有效保護晶圓。

耐高溫晶圓舟推薦使用啟富塑膠的透明PEI、PPSU、本色PEEK、黑色導電防靜電PC、導電防靜電PEEK材料，透明的材料可以實現免開盒檢查，黑色導電防靜電材料添加碳納米管或者碳纖維有較高的耐熱性能，用于承載加熱烘烤、擴散、CVD薄膜形成工程等高溫處理后的晶圓，高溫處理后不變形能避免晶圓受損。

清洗晶圓舟推薦使用本色或者彩色絕緣PVDF、PFA等氟塑料，這類氟塑料具備較高的耐熱性能、低離子污染、良好的化學穩定性、耐強酸強堿和氫氟酸，能用于半導體蝕刻部門的酸堿制程中裝載、傳送晶圓。

啟富塑膠的導電防靜電塑料被廣泛應用于生產制造半導體晶舟，并可根據客戶的要求定制如下特殊要求：

1.穩定的導電防靜電性能，表面電阻率可按照客戶需求定制10的3-11次方歐姆；

2.優秀的機械性能，根據客戶要求調整硬度和抗沖擊性能；

3.優秀的著色性能，按照產品要求定制不同的顏色；

4.優秀的可加工性能和成型周期；

5.穩定的耐熱性能，可根據客戶產品用途定制不同耐熱要求的材料；

6.良好的耐化學性能，按照客戶需要選用不同耐化學性能的材料；

啟富塑膠研發生產的導電、防靜電、電磁屏蔽塑膠材料廣泛應用于各行業不同要求的產品。啟富塑膠生產的炭黑碳纖導電防靜電材料旨在保護關鍵的電子元器件和機械設備免受靜電放電危害，電磁和射頻干擾，并具備潔凈防塵的特點，還能在傳導電荷的同時保持材料本身的基本性能。啟富塑膠生產導電防靜電晶圓舟材料擁有多年經驗，有很好的性價比和穩定性。