現(xiàn)在,越來(lái)越多的電子設(shè)備被用于我們的生活當(dāng)中,這也意味著硅晶圓(電子設(shè)備制造商中使用的半導(dǎo)體材料)需要被更多的生產(chǎn)制造。導(dǎo)電防靜電塑膠在保護(hù)硅片運(yùn)輸和生產(chǎn)過(guò)程中免受污染和破損發(fā)揮著很重要的作用。
晶圓運(yùn)輸加工產(chǎn)品的功能很大程度上受到所用材料的影響,因此為產(chǎn)品選擇合適的材料是十分重要的,我們需要了解產(chǎn)品的具體要求,選擇能滿足其功能特性的材料,如機(jī)械強(qiáng)度、耐磨性能、耐熱性、耐化學(xué)性能,另外在選擇半導(dǎo)體包裝運(yùn)輸材料的時(shí)候我們需要特別關(guān)注材料的導(dǎo)電防靜電性能。通過(guò)選擇不同特性的基礎(chǔ)塑膠樹脂,得到不同特性的樹脂功能,再通過(guò)添加玻璃纖維、抗靜電劑、碳纖維或者碳黑等賦予基礎(chǔ)樹脂本色不具備的其他特性,例如耐熱性、導(dǎo)電性或者更高的強(qiáng)度和韌性。這些功能組合可以根據(jù)不同的基礎(chǔ)樹脂的組合讓可能無(wú)窮無(wú)盡。
啟富塑膠作為優(yōu)秀的導(dǎo)電防靜電熱塑性塑膠材料改性定制廠家,擁有豐富的工程經(jīng)驗(yàn)來(lái)應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)材料性能的需求,我們一直致力于拓展我們材料的應(yīng)用領(lǐng)域,積極的同半導(dǎo)體制造企業(yè)和研發(fā)企業(yè)分享我們的專業(yè)知識(shí),幫助我們的客戶提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力和附加值,通過(guò)創(chuàng)新性的產(chǎn)品來(lái)提高市場(chǎng)的份額和行業(yè)中的話語(yǔ)權(quán)。
為此我們整理了一些在半導(dǎo)體應(yīng)用中常見(jiàn)的導(dǎo)電防靜電塑料,如PP、PC、ABS、PS、PBT、PPO、PPS、PEI、PEEK等。并詳細(xì)說(shuō)明了這些材料使用的的配件。啟富塑膠在半導(dǎo)體行業(yè)有豐富的材料研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),并針對(duì)不同的客戶和工藝需求可提供定制化的導(dǎo)電防靜電改性塑料,并廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造生產(chǎn)的各個(gè)工序,我們的研發(fā)工程師開發(fā)了多種特性的導(dǎo)電防靜電改性塑料用與不同的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝。
如清潔用的晶圓舟通常采用PFA或者PVDF(絕緣材料),因?yàn)榉芰暇邆鋬?yōu)秀的耐化學(xué)性能和超高的潔凈度,能防止清洗過(guò)程中造成硅片的污染。如烘烤用半導(dǎo)體載具我們會(huì)推薦客戶選用PEEK、PEI、PPS、PPO加碳纖維CF和碳納米管CNT復(fù)合材料,表面電阻率可定制10E3-11歐姆,因?yàn)檫@些材料具備優(yōu)秀的耐化學(xué)性能和良好的耐熱性能,能夠承受烘烤爐的高溫。而普通周轉(zhuǎn)用半導(dǎo)體載具采用PP、ABS、PS、PBT、PA、PC加高聚物或者碳纖維或者碳黑的改性方案,這些材料具備良好的性價(jià)比,并可滿足透明度或者色彩定制的需求。
不同的導(dǎo)電防靜電填料也適應(yīng)生產(chǎn)不同的半導(dǎo)體配件,高聚物防靜電化合物因?yàn)榈咨珳\,添加在塑膠基材中可以定制成不同的顏色和透明度的防靜電塑料,生產(chǎn)出來(lái)的制品可以根據(jù)不同的顏色來(lái)區(qū)分產(chǎn)品狀態(tài),這方便半導(dǎo)體部件在制程中分站管理,提高生產(chǎn)效率;碳纖維的高性能賦予了碳纖維導(dǎo)電防靜電材料更高的強(qiáng)度和更好的耐熱性能;碳納米管低添加比就能實(shí)現(xiàn)制品良好的導(dǎo)電抗靜電效果,使制品滿足低污染、高沖擊性能的要求;而炭黑導(dǎo)電防靜電材料是一種低成本解決方案,被大量應(yīng)用于半導(dǎo)體包裝載具,具備很好的經(jīng)濟(jì)效益。
PP聚丙烯
PP材料作為生活中很常見(jiàn)的塑膠材料,具備較低的材料成本,很低的比重,可焊接性能好,耐沖擊性能好,耐折彎性能好,具有有透明或者半透明色,并且PP材料對(duì)于無(wú)機(jī)強(qiáng)酸、堿基、酒精類等多種溶劑表現(xiàn)出優(yōu)異的耐化性。
但是PP聚丙烯耐熱性能比較差,硬度低,彎曲強(qiáng)度低,抗翹曲性能差,容易變形,對(duì)加熱過(guò)的含氯溶劑、芳香性溶劑、濃鹽酸或雙氧水的耐化性較差。
通過(guò)對(duì)PP聚丙烯材料添加炭黑、高分子長(zhǎng)效抗靜電母粒、碳纖維等得到的導(dǎo)電防靜電PP材料常用于制造半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器。
PP黑色導(dǎo)電防靜電材料可用于單片水平放置晶圓盒、多片水平放置晶圓盒、多片水平放置晶圓罐、環(huán)形隔離圈片、晶圓承載盤晶圓舟、多片立式晶舟盒、光罩出貨盒、晶片托盤、托盤夾、卡片盒、托盤卡條等;
PP本色透明防靜電材料可用于單片水平包裝盒、多片水平放置晶圓罐、多片立式晶舟盒、晶圓承載盤晶圓舟、托盤夾、制程控制表的夾子、卡片盒、托盤卡條等;
PP碳纖維導(dǎo)電防靜電材料可用于多片立式晶舟盒托架等。

PS聚苯乙烯
PS聚苯乙烯分為GPPS(優(yōu)良的尺寸安定性,良好的透明度,硬質(zhì)帶脆性)和HIPS(改善過(guò)的沖擊強(qiáng)度,耐應(yīng)力性能好,柔軟度較好),PS成本低,可加工性好,對(duì)水、弱酸、堿基和洗劑有較強(qiáng)的抗性。
但是PP即使改善沖擊后的沖擊強(qiáng)度也較低,耐熱性能差,易被大多數(shù)溶劑和有機(jī)物腐蝕。
通過(guò)對(duì)PS材料添加炭黑、高分子長(zhǎng)效抗靜電母粒等得到的導(dǎo)電防靜電PS材料常用于注塑或者擠出吸塑生產(chǎn)沒(méi)有耐熱要求的半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器。
GPPS透明防靜電材料可用于透明光罩盒、晶片托盤用遮罩、自吸附膠盒等;
HIPS黑色導(dǎo)電防靜電塑料可用于晶片托盤、單片晶圓包裝吸塑、擠出承載帶、膠盤卷盤等。

ABS丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物
ABS是兼具強(qiáng)度,韌性和耐沖擊性能的一款通用塑料,擁有本色可著色或者透明色,沖擊強(qiáng)度高,容易配色。它對(duì)于幾乎所有的酸、堿基、飽和鹽水及酒精具有較強(qiáng)的抗性。
但是ABS材料的耐熱性能一般,并且易被有機(jī)溶劑腐蝕。
通過(guò)對(duì)ABS材料添加炭黑、高分子長(zhǎng)效抗靜電母粒等得到的導(dǎo)電防靜電ABS材料常用于制造耐熱要求不高的半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器。
ABS透明防靜電材料可用于多片立式晶舟盒、透明光罩傳輸盒、透明光罩出貨盒、晶片托盤用遮罩、自吸附膠盒等;
ABS黑色導(dǎo)電防靜電塑料可用于晶片托盤、華夫盒、光學(xué)部件包裝托盤等。

PC聚碳酸酯
PC是硬質(zhì)透明聚合物,具備較高的耐熱性能,優(yōu)秀的抗沖擊性能和強(qiáng)度,并具備高透明度,較好的尺寸穩(wěn)定性,不易應(yīng)力變形,耐候性能好,它在室溫下對(duì)弱酸、堿基、油、酒精有抗性。
但是PC材料容易內(nèi)應(yīng)力開裂,在高溫下會(huì)被有機(jī)溶劑、強(qiáng)酸及堿基侵蝕。
通過(guò)對(duì)PC材料添加炭黑、碳納米管、高分子長(zhǎng)效抗靜電母粒、碳纖維等得到的導(dǎo)電防靜電PC材料常用于制造有一定耐熱要求的半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器。
PC普通透明塑料可用于透明多片立式晶舟盒、透明光罩傳輸盒等;
PC黑色導(dǎo)電防靜電塑料可用于晶圓承載盤晶圓舟、多片立式晶舟盒、光罩出貨盒、晶片托盤,自吸附膠盒等;
PC碳纖維導(dǎo)電防靜電塑料可用于晶圓隔離環(huán)、多片立式晶舟盒等。

PBT聚對(duì)苯二甲酸丁二酯
PBT具備良好的耐熱性能,較低的吸水率。
但是PBT不耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿,能耐有機(jī)溶劑。
PBT本色防靜電塑料可用于晶圓承載盤晶圓舟、多片立式晶舟盒等。

PPO聚苯醚
純PPO一般呈白色或淺黃色粉體,熔融流動(dòng)性較差、易發(fā)生應(yīng)力開裂、缺口沖擊強(qiáng)度低、無(wú)法注射成型。通過(guò)和PS等材料復(fù)合改良提高材料的流動(dòng)性后,可以注塑成型,目前通用的是MPPO,即PPO+PS。MPPO具備較低的吸水率,低的比重,良好的尺寸穩(wěn)定性,并且有很好的耐熱性能。
但是耐熱級(jí)MPPO中PS的比例低,會(huì)大幅度降低其流動(dòng)性。
通過(guò)對(duì)MPPO材料添加炭黑、碳納米管、碳纖維等得到的導(dǎo)電防靜電PPE材料常用于制造有一定耐熱要求、尺寸穩(wěn)定性要求高的半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器。
PPO炭黑/碳纖維導(dǎo)電防靜電塑料主要用于生產(chǎn)制程中的各種需要清洗烘烤的耐高溫托盤。

PA尼龍
尼龍PA具備良好的韌性和優(yōu)秀的耐熱性能,并且有良好的機(jī)械強(qiáng)度。
但是尼龍材料吸濕后容易變形,發(fā)生翹曲現(xiàn)象,無(wú)法滿足半導(dǎo)體載具精度的要求。
通過(guò)對(duì)PA材料添加玻纖和長(zhǎng)效抗靜電母粒等得到的可配色防靜電PA材料常用于制造有一定耐熱要求、韌性和可調(diào)色的半導(dǎo)體載具配件,如可配色彩色目視管理用的托盤卡條、狀態(tài)標(biāo)識(shí)卡槽、各種手柄等。

PPS聚苯硫醚
PPS聚苯硫醚材料硬而脆,具備很好的剛性,優(yōu)秀的耐熱性能,長(zhǎng)期工作負(fù)荷和熱負(fù)荷的作用下能保持高的力學(xué)性能和尺寸穩(wěn)定性,優(yōu)異的耐化學(xué)性能。
但是PPS比重高,成本也相對(duì)較高。
通過(guò)對(duì)PPS材料添加碳納米管、碳纖維等得到的導(dǎo)電防靜電PPS材料常用于制造有高低溫要求、耐腐蝕的制程中使用的半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器以及設(shè)備零部件。
PPS黑色導(dǎo)電防靜電塑料主要用于生產(chǎn)制程中的各種耐高低溫、耐化學(xué)清洗半導(dǎo)體托盤及半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)線上的防靜電導(dǎo)電機(jī)械配件。

PEI聚醚醯亞胺
PEI材料有優(yōu)秀的強(qiáng)度重量比,高沖擊強(qiáng)度,耐熱性能好,并且能耐高溫蒸汽,對(duì)多種化學(xué)物質(zhì)具有良好的抵抗性。
通過(guò)對(duì)PEI材料添加碳納米管、碳纖維等得到的導(dǎo)電防靜電PEI材料常用于制造有高低溫要求、耐腐蝕的制程中使用的半導(dǎo)體包裝和運(yùn)輸容器以及設(shè)備零部件。
PEI琥珀色透明主要用于生產(chǎn)制程中的各種耐高低溫、耐化學(xué)清洗的晶圓承載盤晶圓舟、多片立式晶舟盒等。
PEI黑色導(dǎo)電防靜電塑料用于生產(chǎn)晶圓承載盤晶圓舟、多片立式晶舟盒、半導(dǎo)體托盤、半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)線上的防靜電導(dǎo)電機(jī)械配件。
PEEK聚醚醚酮
PEEK聚醚醚酮的力學(xué)性能、耐熱性能、耐磨性能和耐化學(xué)性能都很突出,并且有優(yōu)越的尺寸穩(wěn)定性和阻燃性能。限制PEEK使用的就是成本。
由于PEEK超高的綜合特性,因此通過(guò)對(duì)PEEK材料添加碳納米管、碳纖維等得到的導(dǎo)電防靜電PEEK材料常用于制造有高低溫要求、耐腐蝕的制程中使用的半導(dǎo)體夾具和工具。
PEEK黑色導(dǎo)電防靜電塑料主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)線上的晶圓承載盤晶圓舟、晶圓拾取器、吸附器等。
氟塑料PFA PVDF
氟塑料具備無(wú)與倫比的耐化學(xué)腐蝕性能,能夠承受半導(dǎo)體制程中的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿的腐蝕,并具備高結(jié)晶度度和優(yōu)秀的耐熱性能。
氟塑料PFA、PVDF塑料主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)線上的晶圓承載盤晶圓舟等。
啟富塑膠的導(dǎo)電防靜電塑料,可以根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)不同產(chǎn)品要求定制不同性能的材料。我們?yōu)榭蛻籼峁﹥?yōu)秀的半導(dǎo)體材料解決方案,并為材料替代提供技術(shù)支持,以幫助客戶在安全性、自由設(shè)計(jì)度等領(lǐng)域取得成功,我們希望克服“思維孤島”和“麻將思維”,把我們?cè)趯?dǎo)電防靜電材料技術(shù)領(lǐng)域取得的新進(jìn)展和成果分享給更下游的終端產(chǎn)品制造商,充分發(fā)揮長(zhǎng)臂灰度創(chuàng)新的特點(diǎn),同我們的更下游共同探討導(dǎo)電防靜電塑料在半導(dǎo)體領(lǐng)域及其他更多領(lǐng)域的應(yīng)用,為我們的客戶提高產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力和附加值一直是我們努力的方向和目標(biāo)。










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