光罩傳送盒的產(chǎn)品要求

從2020年開始，國內(nèi)的光罩廠如同雨后春筍一樣開始大規(guī)模建設(shè)投產(chǎn)，高端掩膜版的國產(chǎn)化進(jìn)程在穩(wěn)步而艱難的推進(jìn)。光罩上的圖形會被重復(fù)縮印到晶圓上，因此光罩的缺陷會嚴(yán)重影響晶圓的良率，零缺陷的光罩對晶圓的光刻工藝至關(guān)重要。光罩通過電子束或者激光直寫生成電路版圖后，需要驗證和修復(fù)缺陷，隨后光罩會被清洗去除殘余顆粒和化學(xué)污漬，封膜后送至光刻產(chǎn)線。

由于光罩的生產(chǎn)周期要遠(yuǎn)大于晶圓的生產(chǎn)，設(shè)備本身也耗資巨大，一張光罩的售價高達(dá)幾十萬美元，并且光罩的品質(zhì)直接關(guān)系到晶圓光刻的品質(zhì)。因此有效避免光罩在生產(chǎn)使用過程中免受環(huán)境的損壞就十分有必要。

光罩傳送盒又稱為光罩自動化傳輸盒、Reticle SMIF Pod。它被用于光罩生產(chǎn)和使用制程中的運輸和儲存，搭配自動化曝光機(jī)、光罩檢查機(jī)等相關(guān)光罩制程、傳輸使用機(jī)臺。

炭黑防靜電PC塑膠應(yīng)用

啟富塑膠一直致力于為半導(dǎo)體客戶提供種類多樣的防靜電導(dǎo)電塑料，并為客戶提供定制化的ESD材料解決方案，作為優(yōu)秀的導(dǎo)電化合物供應(yīng)商，啟富塑膠生產(chǎn)的導(dǎo)電化合物能適用于各種半導(dǎo)體制程應(yīng)用。

啟富塑膠豐富的半導(dǎo)體載具行業(yè)研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗，可以針對不同的客戶和工藝需求提供定制化的導(dǎo)電化合物。并廣泛應(yīng)用于晶圓制造生產(chǎn)的各個制程，我們的研發(fā)工程師開發(fā)了多種特性的導(dǎo)電防靜電改性塑料用與不同的晶圓生產(chǎn)工藝。

光罩傳送盒用于保護(hù)光罩掩模版免受霧霾、空氣污染和靜電的影響。因此選用的材料要具備高潔凈度和低放氣性能，并且需要能提供持續(xù)長效的靜電保護(hù)性能。

啟富塑膠的透明防靜電ABS材料具備良好的透明度，可根據(jù)制程目視化管理需求，定制不同底色，并且擁有良好穩(wěn)定的抗靜電效果，目前已被大量用于光罩傳送盒上蓋。

另外，我們的炭黑導(dǎo)電防靜電PC材料在光罩傳送盒的生產(chǎn)使用上也有多年的經(jīng)驗，PC材料具備良好的尺寸安定性和高抗沖擊性能，能給予光罩有效的安全防護(hù)，啟富塑膠的防靜電PC材料可根據(jù)客戶的要求定制如下特殊要求：

1.穩(wěn)定的導(dǎo)電防靜電性能，表面電阻率可按照客戶需求定制10的6-11次方歐姆；

2.優(yōu)秀的表面效果，黑亮光澤，高純潔度，低放氣性能；

3.優(yōu)秀的機(jī)械性能，高抗沖擊強(qiáng)度，防止碰撞損傷；

4.優(yōu)秀的可加工性能和成型周期；

啟富塑膠研發(fā)生產(chǎn)的導(dǎo)電、防靜電、電磁屏蔽塑膠材料廣泛應(yīng)用于各行業(yè)不同要求的產(chǎn)品。啟富塑膠生產(chǎn)的本色透明導(dǎo)電防靜電材料旨在保護(hù)關(guān)鍵的電子元器件和機(jī)械設(shè)備免受靜電放電危害，電磁和射頻干擾，并具備潔凈防塵的特點，還能在傳導(dǎo)電荷的同時保持材料本身的基本性能。啟富塑膠生產(chǎn)導(dǎo)電防靜電光罩盒材料擁有多年經(jīng)驗，有很好的性價比和穩(wěn)定性。