光罩儲存盒的產品要求

光罩是連接芯片設計和生產的重要紐帶，業內又稱光掩模版、掩膜版，英文名稱 MASK 或 PHOTOMASK。它從下到上分別是石英玻璃（高純度、低反射率、低熱膨脹系數）、金屬鉻膜（沉積與蝕刻容易，不透光）和感光膠。使用高精度電子激光設備把設計好的電路圖曝光在感光膠上，被曝光的區域就會被顯影出來，并在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光罩。然后將光罩布置在光刻機上，對集成電路進行投影定位，通過集成電路光刻機對所投影的電路進行光蝕刻。

光罩通常會在不同的光刻機中來回傳送，一臺光刻機每小時的產量高達上百片晶圓，而一層電路圖只會使用同一塊光罩，所以光罩的好壞直接關系到所有晶圓的質量。但是由于光罩膜太薄太透明，如果光罩在曝光時出現問題，即使是性能優秀的光刻機也無法檢測出來，只能依靠操作工的目檢，這樣的風險無疑是巨大的。

因此在運輸儲存使用光罩的過程中，為了保證光罩的潔凈度和質量，需要嚴苛控制光罩的周邊環境，盡可能的避免劃碰傷、玻璃發霉霧霾、空氣污染和靜電的影響。光罩存儲盒主要用于運輸和儲存階段，對光罩起到安全防護作用，避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染。光罩存儲盒又稱為單片光罩盒、光罩出貨盒、光罩載具等。

透明防靜電ABS塑膠應用

啟富塑膠一直致力于為半導體客戶提供種類多樣的防靜電導電塑料，并為客戶提供定制化的ESD材料解決方案，作為優秀的導電化合物供應商，啟富塑膠生產的導電化合物能適用于各種半導體制程應用。

啟富塑膠豐富的半導體載具行業研發生產經驗，可以針對不同的客戶和工藝需求提供定制化的導電化合物。并廣泛應用于晶圓制造生產的各個制程，我們的研發工程師開發了多種特性的導電防靜電改性塑料用與不同的晶圓生產工藝。

針對光罩儲存盒產品的特性，我們建議客戶選用透明防靜電ABS材料和導電防靜電黑色PC材料作為光罩載具的生產材料。透明材料可以實現工序制程中的免開盒檢查，ABS和PC材料良好的尺寸穩定性能給予光罩有效的安全防護，而長效持久的抗靜電效果能避免光罩受到靜電的損傷。

啟富塑膠的透明防靜電ABS塑料被廣泛應用于生產制造光罩儲存盒，并可根據客戶的要求定制如下特殊要求：

1.穩定的導電防靜電性能，表面電阻率可按照客戶需求定制10的6-11次方歐姆；

2.優秀的透明度，并可根據客戶需要定制橙色、黃色、藍底透明；

3.良好的低放氣性能，高純凈度，避免光罩受到污染；

4.優秀的機械性能，高抗沖擊強度，防止碰撞損傷；

5.優秀的可加工性能和成型周期；

啟富塑膠研發生產的導電、防靜電、電磁屏蔽塑膠材料廣泛應用于各行業不同要求的產品。啟富塑膠生產的本色透明導電防靜電材料旨在保護關鍵的電子元器件和機械設備免受靜電放電危害，電磁和射頻干擾，并具備潔凈防塵的特點，還能在傳導電荷的同時保持材料本身的基本性能。啟富塑膠生產導電防靜電光罩盒材料擁有多年經驗，有很好的性價比和穩定性。