眾所周知,半導體是電子行業中非常有價值的產品,同時也是異常脆弱的產品,它非常容易受到誤操作和污染的影響。半導體的保護和潔凈度的控制從晶圓廠一直延伸到實際使用過程中。晶圓生產工藝十分復雜,生產制程十分繁瑣。在這些過程中,不同的工位,不同的的產品需要使用不同的包裝和夾具來運輸。
啟富塑膠作為優秀的導電防靜電熱塑性塑膠材料改性定制廠家,擁有豐富的工程經驗來應對半導體行業對材料性能的需求,我們一直致力于拓展我們材料的應用領域,積極的同半導體制造企業和研發企業分享我們的專業知識,幫助我們的客戶提高產品的競爭力和附加值,通過創新性的產品來提高市場的份額和行業中的話語權。
為此我們整理了一些在半導體產品包裝運輸過程中常見的一些產品和解決方案。
多片水平放置晶圓盒
多片水平放置晶圓盒又稱為晶圓蛋糕盒、堆疊盒、硅片卡盒、中轉盒等,這是一種垂直疊幣式包裝盒,晶圓盒中的晶片通過環形隔離環分隔水平放置,用于晶片在制程中的高效安全運輸。它集支撐、限位、緩沖、吸能于一體,使用較低的成本給晶片提供優秀而全面的保護,被廣泛用于薄片晶圓的存放。
啟富塑膠推薦使用黑色導電防靜電PP用于生產多片水平放置晶圓盒,表面電阻率為1E4-1E11歐姆。
環形隔離環
晶片環形隔離環被用在水平放置晶圓盒中,用于隔離疊層放置的晶圓。它是金屬隔離環的低成本替代方案,通常被設計為一次性使用,無需承擔回收的運輸費用和清洗費用。隔離環只和晶圓周邊部分接觸,不會使晶圓表面產生劃痕,能有效保護晶圓。隔離環表面磨砂的設計可以有效避免與晶圓的附著力,使機械自動堆疊更方便。
環形隔離圈根據不同的要求,可采用碳纖維防靜電PPS、炭黑/碳纖維防靜電PC、導電防靜電PS或者導電防靜電PP生產制造,其表面電阻率為1E4-1E11歐姆。
多片水平放置晶圓罐
多片水平放置晶圓罐也是一種垂直疊幣式包裝盒,它同多片水平放置晶圓盒的主要區別就是外形結構,并被更多的用于出貨包裝,多片水平放置晶圓罐可包裝晶圓數量多,運輸包裝成本低。罐中的晶片之間通過添加泡棉、隔離片和隔離紙,來提高晶圓防震能力,給晶圓運輸過程中提供有效保護。
防震泡棉/海綿墊/內襯墊通常采用防靜電發泡PU(表面電阻率為1E6-1E11歐姆)生產制造。
隔離紙通常采用杜邦的tyvek防靜電PO做為生產材料,這是一種高密度聚乙烯纖維制成的無紡布,表面電阻率為1E6-1E11歐姆。
隔離片通常采用導電防靜電PS擠出片材沖切成圓形,表面電阻率為1E4-1E9歐姆。
晶圓罐的主體常選用啟富塑膠的黑色導電防靜電PP材料(表面電阻率為1E4-1E9歐姆),防靜電本色PP材料(表面電阻率為1E8-1E11歐姆)或者普通絕緣PP材料。
單片晶圓包裝盒
單片晶圓包裝盒是一種用于單片晶圓安全儲存和運輸的容器,它同多片水平放置晶圓罐的主要區別就是只能單片儲存,并且蓋內有彈片設計,能有效避免晶圓移動,防止產生顆粒粉塵,防止晶圓破損。
彈片通常使用普通本色PE材料。
單片晶圓包裝盒常選用普通透明共聚PP或者啟富塑膠的黑色導電防靜電PP材料,也有采用擠出片材后吸塑成型的透明PS或者黑色導電防靜電PS。
多片立式放置晶圓舟
多片立式放置晶圓舟又稱制程晶舟、晶片花籃、晶圓承載,它采用立式放置的方式提高了晶圓的水平安定性。晶圓舟通常在生產制程中,用于半導體晶圓片、硅片的清潔、裝載、保管、移送或自動化工程中使用。根據用途通常可以分為用于清潔流程的耐化學強酸強堿的清洗載具、半導體烘烤流程中的耐高溫工藝載具和出貨移送儲存過程中的普通周轉載具。
普通周轉晶圓舟推薦采用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導電防靜電PP、本色防靜電ABS、本色防靜電PBT等材質,可定制不同的顏色,方便在制程中分站管理,提高生產效率,防靜電的材料能有效保護晶圓。
耐高溫晶圓舟推薦使用啟富塑膠的黑色導電防靜電PC、透明PEI、PPSU、本色PEEK、導電防靜電PEEK材料,用于承載加熱烘烤、擴散、CVD薄膜形成工程等高溫處理后的晶圓,高溫處理后不變形能避免晶圓受損。
清洗晶圓舟推薦使用本色或者彩色絕緣PVDF、PFA等氟塑料,這類氟塑料具備較高的耐熱性能、低離子污染、良好的化學穩定性,能用于半導體蝕刻部門的酸堿制程中裝載、傳送晶圓。
晶圓舟包裝盒
晶圓舟包裝盒又稱晶舟盒、晶圓儲存盒、硅片儲料盒、傳送盒、出貨盒,用于容納晶圓舟厚在各個工藝流程之間進行轉移,是硅片、鍺片、玻璃片、藍寶石片、石英玻璃等等材料承放的容器。它采用密封設計,用于儲存晶圓,減少摩擦,能有效的減少由于晶圓顫振盒載流子移動而產生的顆粒污染晶圓,使晶圓獲得更潔凈的安全保護。根據晶舟盒防靜電效果可分為,用于承載從從晶柱切下的空白晶圓片至下端的晶圓廠單純運輸用的不可進入制程的絕緣晶舟盒,和可用于制程周轉、存放、包裝出貨的防靜電晶舟盒。
絕緣晶舟盒可使用透明PC、本色PP、透明ABS等,并可定制豐富的色彩。
防靜電晶舟盒推薦使用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導電防靜電PP、透明防靜電ABS、本色防靜電PBT、黑色導電防靜電PC等,可有效避免靜電對晶圓的損壞。
晶舟盒上的標識袋采用普通透明PVC材料或者防靜電PVC材料,按扣采用白色普通PA材料。
用于制程目視化管理的卡片支架和卡片盒可采用透明ABS、透明本色防靜電ABS、導電防靜電PP、本色防靜電PBT、絕緣PFA/PVDF等。
晶圓舟用手柄通常采用PFA作為生產材料。
單片光罩盒
單片光罩盒又稱為光罩出貨盒、光罩儲存盒、光罩載具。光罩又被稱為光掩模版、掩膜版,它以石英玻璃為襯底,再鍍上一層金屬鉻和感光膠,當線路圖在感光膠上曝光后,就在金屬鉻上形成對應的電路圖形,透過光罩可以將電路圖再光蝕刻復制到晶圓上。光罩生產加工工序為:曝光,顯影,去感光膠,然后應用于光蝕刻。光罩儲存盒主要用于曝光光刻等工序,在光罩運輸和儲存時起到安全防護作用,避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染。
光罩儲存盒通常采用普通透明ABS塑料,另外啟富塑膠的透明防靜電ABS、導電防靜電PC材料能很好的避免光罩受到靜電損害。
光罩傳送盒
光罩傳送盒又稱為光罩自動化傳輸盒、Reticle SMIF Pod。它被用于光罩生產制程中的運輸和儲存,搭配自動化曝光機、光罩檢查機等相關光罩制程、傳輸使用機臺。高潔凈度和低放氣性能,并提供持續長效的靜電保護性能,保護掩模版免受霧霾、空氣污染和靜電的影響。
光罩傳送盒推薦使用啟富塑膠的透明防靜電ABS、導電防靜電PC以及防靜電PEEK等材料。
IC芯片托盤
IC芯片托盤又稱為芯片盒、華夫盒、IC承載盤等,主要用于芯片、晶圓、晶粒、COG、光電元件、及其他微電子零件在封裝測試過程中或運輸、儲存、出貨過程中的承載包裝。根據生產制程的不同,有不同的耐高溫烘烤要求及不同的靜電防護等級。
普通托盤推薦采用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導電防靜電PP、本色防靜電ABS、透明防靜電ABS、黑色防靜電PS等材質,可定制豐富的色彩,方便在制程中分站管理,提高生產效率。
耐高溫托盤推薦使用啟富塑膠的黑色導電防靜電PC、本色防靜電PC、加纖或者無纖防靜電導電MPPO、導電防靜電PPS、導電防靜電PEI、導電防靜電PEEK材料,用于需要加熱高溫烘烤的托盤,高溫處理后不變形。
托盤夾
托盤夾用于固定單層托盤底蓋或者多次疊堆使用的托盤,將托盤和托盤蓋推入托盤夾內,托盤夾上的兩個彈簧互鎖片可確保托盤和蓋子之間的良好接觸,避免運輸過程中的震動使托盤移位,損壞內部承載的半導體部件。
啟富塑膠推薦使用PP導電防靜電材料生產托盤夾,表面電阻率為1E4-1E11歐姆,并具備較好的彈性。
托盤卡條
托盤卡條被廣泛使用于黑色耐高溫托盤,安裝在托盤側面。使用多種顏色并噴碼,用于芯片封裝測試過程中進行目視化管理,區分良品不良品和計數,它能大幅提高制程中的生產效率。
托盤卡條通常使用啟富塑膠的加纖/無纖防靜電本色PA和本色防靜電PP材料,能承受一定的高溫烘烤,并可定制豐富的色彩。
自吸附膠盒
自吸附膠盒是一種新型的微型元器件包裝解決方案,它用于光學材料、半導體元件、光電器件、微電子芯片、醫療器件等高科技易碎或高表面質量產品的特殊存放和運輸。它的上蓋采用透明防靜電ABS塑料,可實現免開蓋檢測和觀察內部包裝器件;底殼采用透明防靜電ABS或黑色防靜電PC材料,并在底部灌封一層膠層,當器件放入膠盒后就被自動吸附在膠盒表面上,無需泡沫、海綿及其它填充材料,即使傾斜或者震動都不會使器件脫落,從而避免震動或碰撞損失器件。
啟富塑膠的透明防靜電ABS材料和黑色導電防靜電PC材料被廣泛用于生產自吸附膠盒。
啟富塑膠的導電防靜電塑料,可以根據半導體行業不同產品要求定制不同性能的材料。我們為客戶提供優秀的半導體材料解決方案,并為材料替代提供技術支持,以幫助客戶在安全性、自由設計度等領域取得成功,我們希望克服“思維孤島”和“麻將思維”,把我們在導電防靜電材料技術領域取得的新進展和成果分享給更下游的終端產品制造商,充分發揮長臂灰度創新的特點,同我們的更下游共同探討導電防靜電塑料在半導體領域及其他更多領域的應用,為我們的客戶提高產品的競爭力和附加值一直是我們努力的方向和目標。











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