眾所周知,半導(dǎo)體是電子行業(yè)中非常有價(jià)值的產(chǎn)品,同時(shí)也是異常脆弱的產(chǎn)品,它非常容易受到誤操作和污染的影響。半導(dǎo)體的保護(hù)和潔凈度的控制從晶圓廠一直延伸到實(shí)際使用過程中。晶圓生產(chǎn)工藝十分復(fù)雜,生產(chǎn)制程十分繁瑣。在這些過程中,不同的工位,不同的的產(chǎn)品需要使用不同的包裝和夾具來運(yùn)輸。
啟富塑膠作為優(yōu)秀的導(dǎo)電防靜電熱塑性塑膠材料改性定制廠家,擁有豐富的工程經(jīng)驗(yàn)來應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)材料性能的需求,我們一直致力于拓展我們材料的應(yīng)用領(lǐng)域,積極的同半導(dǎo)體制造企業(yè)和研發(fā)企業(yè)分享我們的專業(yè)知識(shí),幫助我們的客戶提高產(chǎn)品的競爭力和附加值,通過創(chuàng)新性的產(chǎn)品來提高市場的份額和行業(yè)中的話語權(quán)。
為此我們整理了一些在半導(dǎo)體產(chǎn)品包裝運(yùn)輸過程中常見的一些產(chǎn)品和解決方案。
多片水平放置晶圓盒
多片水平放置晶圓盒又稱為晶圓蛋糕盒、堆疊盒、硅片卡盒、中轉(zhuǎn)盒等,這是一種垂直疊幣式包裝盒,晶圓盒中的晶片通過環(huán)形隔離環(huán)分隔水平放置,用于晶片在制程中的高效安全運(yùn)輸。它集支撐、限位、緩沖、吸能于一體,使用較低的成本給晶片提供優(yōu)秀而全面的保護(hù),被廣泛用于薄片晶圓的存放。
啟富塑膠推薦使用黑色導(dǎo)電防靜電PP用于生產(chǎn)多片水平放置晶圓盒,表面電阻率為1E4-1E11歐姆。
環(huán)形隔離環(huán)
晶片環(huán)形隔離環(huán)被用在水平放置晶圓盒中,用于隔離疊層放置的晶圓。它是金屬隔離環(huán)的低成本替代方案,通常被設(shè)計(jì)為一次性使用,無需承擔(dān)回收的運(yùn)輸費(fèi)用和清洗費(fèi)用。隔離環(huán)只和晶圓周邊部分接觸,不會(huì)使晶圓表面產(chǎn)生劃痕,能有效保護(hù)晶圓。隔離環(huán)表面磨砂的設(shè)計(jì)可以有效避免與晶圓的附著力,使機(jī)械自動(dòng)堆疊更方便。
環(huán)形隔離圈根據(jù)不同的要求,可采用碳纖維防靜電PPS、炭黑/碳纖維防靜電PC、導(dǎo)電防靜電PS或者導(dǎo)電防靜電PP生產(chǎn)制造,其表面電阻率為1E4-1E11歐姆。
多片水平放置晶圓罐
多片水平放置晶圓罐也是一種垂直疊幣式包裝盒,它同多片水平放置晶圓盒的主要區(qū)別就是外形結(jié)構(gòu),并被更多的用于出貨包裝,多片水平放置晶圓罐可包裝晶圓數(shù)量多,運(yùn)輸包裝成本低。罐中的晶片之間通過添加泡棉、隔離片和隔離紙,來提高晶圓防震能力,給晶圓運(yùn)輸過程中提供有效保護(hù)。
防震泡棉/海綿墊/內(nèi)襯墊通常采用防靜電發(fā)泡PU(表面電阻率為1E6-1E11歐姆)生產(chǎn)制造。
隔離紙通常采用杜邦的tyvek防靜電PO做為生產(chǎn)材料,這是一種高密度聚乙烯纖維制成的無紡布,表面電阻率為1E6-1E11歐姆。
隔離片通常采用導(dǎo)電防靜電PS擠出片材沖切成圓形,表面電阻率為1E4-1E9歐姆。
晶圓罐的主體常選用啟富塑膠的黑色導(dǎo)電防靜電PP材料(表面電阻率為1E4-1E9歐姆),防靜電本色PP材料(表面電阻率為1E8-1E11歐姆)或者普通絕緣PP材料。
單片晶圓包裝盒
單片晶圓包裝盒是一種用于單片晶圓安全儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)娜萜鳎嗥椒胖镁A罐的主要區(qū)別就是只能單片儲(chǔ)存,并且蓋內(nèi)有彈片設(shè)計(jì),能有效避免晶圓移動(dòng),防止產(chǎn)生顆粒粉塵,防止晶圓破損。
彈片通常使用普通本色PE材料。
單片晶圓包裝盒常選用普通透明共聚PP或者啟富塑膠的黑色導(dǎo)電防靜電PP材料,也有采用擠出片材后吸塑成型的透明PS或者黑色導(dǎo)電防靜電PS。
多片立式放置晶圓舟
多片立式放置晶圓舟又稱制程晶舟、晶片花籃、晶圓承載,它采用立式放置的方式提高了晶圓的水平安定性。晶圓舟通常在生產(chǎn)制程中,用于半導(dǎo)體晶圓片、硅片的清潔、裝載、保管、移送或自動(dòng)化工程中使用。根據(jù)用途通常可以分為用于清潔流程的耐化學(xué)強(qiáng)酸強(qiáng)堿的清洗載具、半導(dǎo)體烘烤流程中的耐高溫工藝載具和出貨移送儲(chǔ)存過程中的普通周轉(zhuǎn)載具。
普通周轉(zhuǎn)晶圓舟推薦采用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導(dǎo)電防靜電PP、本色防靜電ABS、本色防靜電PBT等材質(zhì),可定制不同的顏色,方便在制程中分站管理,提高生產(chǎn)效率,防靜電的材料能有效保護(hù)晶圓。
耐高溫晶圓舟推薦使用啟富塑膠的黑色導(dǎo)電防靜電PC、透明PEI、PPSU、本色PEEK、導(dǎo)電防靜電PEEK材料,用于承載加熱烘烤、擴(kuò)散、CVD薄膜形成工程等高溫處理后的晶圓,高溫處理后不變形能避免晶圓受損。
清洗晶圓舟推薦使用本色或者彩色絕緣PVDF、PFA等氟塑料,這類氟塑料具備較高的耐熱性能、低離子污染、良好的化學(xué)穩(wěn)定性,能用于半導(dǎo)體蝕刻部門的酸堿制程中裝載、傳送晶圓。
晶圓舟包裝盒
晶圓舟包裝盒又稱晶舟盒、晶圓儲(chǔ)存盒、硅片儲(chǔ)料盒、傳送盒、出貨盒,用于容納晶圓舟厚在各個(gè)工藝流程之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移,是硅片、鍺片、玻璃片、藍(lán)寶石片、石英玻璃等等材料承放的容器。它采用密封設(shè)計(jì),用于儲(chǔ)存晶圓,減少摩擦,能有效的減少由于晶圓顫振盒載流子移動(dòng)而產(chǎn)生的顆粒污染晶圓,使晶圓獲得更潔凈的安全保護(hù)。根據(jù)晶舟盒防靜電效果可分為,用于承載從從晶柱切下的空白晶圓片至下端的晶圓廠單純運(yùn)輸用的不可進(jìn)入制程的絕緣晶舟盒,和可用于制程周轉(zhuǎn)、存放、包裝出貨的防靜電晶舟盒。
絕緣晶舟盒可使用透明PC、本色PP、透明ABS等,并可定制豐富的色彩。
防靜電晶舟盒推薦使用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導(dǎo)電防靜電PP、透明防靜電ABS、本色防靜電PBT、黑色導(dǎo)電防靜電PC等,可有效避免靜電對(duì)晶圓的損壞。
晶舟盒上的標(biāo)識(shí)袋采用普通透明PVC材料或者防靜電PVC材料,按扣采用白色普通PA材料。
用于制程目視化管理的卡片支架和卡片盒可采用透明ABS、透明本色防靜電ABS、導(dǎo)電防靜電PP、本色防靜電PBT、絕緣PFA/PVDF等。
晶圓舟用手柄通常采用PFA作為生產(chǎn)材料。
單片光罩盒
單片光罩盒又稱為光罩出貨盒、光罩儲(chǔ)存盒、光罩載具。光罩又被稱為光掩模版、掩膜版,它以石英玻璃為襯底,再鍍上一層金屬鉻和感光膠,當(dāng)線路圖在感光膠上曝光后,就在金屬鉻上形成對(duì)應(yīng)的電路圖形,透過光罩可以將電路圖再光蝕刻復(fù)制到晶圓上。光罩生產(chǎn)加工工序?yàn)椋浩毓猓@影,去感光膠,然后應(yīng)用于光蝕刻。光罩儲(chǔ)存盒主要用于曝光光刻等工序,在光罩運(yùn)輸和儲(chǔ)存時(shí)起到安全防護(hù)作用,避免光罩遭受外部微塵粒子及化學(xué)污染。
光罩儲(chǔ)存盒通常采用普通透明ABS塑料,另外啟富塑膠的透明防靜電ABS、導(dǎo)電防靜電PC材料能很好的避免光罩受到靜電損害。
光罩傳送盒
光罩傳送盒又稱為光罩自動(dòng)化傳輸盒、Reticle SMIF Pod。它被用于光罩生產(chǎn)制程中的運(yùn)輸和儲(chǔ)存,搭配自動(dòng)化曝光機(jī)、光罩檢查機(jī)等相關(guān)光罩制程、傳輸使用機(jī)臺(tái)。高潔凈度和低放氣性能,并提供持續(xù)長效的靜電保護(hù)性能,保護(hù)掩模版免受霧霾、空氣污染和靜電的影響。
光罩傳送盒推薦使用啟富塑膠的透明防靜電ABS、導(dǎo)電防靜電PC以及防靜電PEEK等材料。
IC芯片托盤
IC芯片托盤又稱為芯片盒、華夫盒、IC承載盤等,主要用于芯片、晶圓、晶粒、COG、光電元件、及其他微電子零件在封裝測試過程中或運(yùn)輸、儲(chǔ)存、出貨過程中的承載包裝。根據(jù)生產(chǎn)制程的不同,有不同的耐高溫烘烤要求及不同的靜電防護(hù)等級(jí)。
普通托盤推薦采用啟富塑膠的本色防靜電PP、黑色導(dǎo)電防靜電PP、本色防靜電ABS、透明防靜電ABS、黑色防靜電PS等材質(zhì),可定制豐富的色彩,方便在制程中分站管理,提高生產(chǎn)效率。
耐高溫托盤推薦使用啟富塑膠的黑色導(dǎo)電防靜電PC、本色防靜電PC、加纖或者無纖防靜電導(dǎo)電MPPO、導(dǎo)電防靜電PPS、導(dǎo)電防靜電PEI、導(dǎo)電防靜電PEEK材料,用于需要加熱高溫烘烤的托盤,高溫處理后不變形。
托盤夾
托盤夾用于固定單層托盤底蓋或者多次疊堆使用的托盤,將托盤和托盤蓋推入托盤夾內(nèi),托盤夾上的兩個(gè)彈簧互鎖片可確保托盤和蓋子之間的良好接觸,避免運(yùn)輸過程中的震動(dòng)使托盤移位,損壞內(nèi)部承載的半導(dǎo)體部件。
啟富塑膠推薦使用PP導(dǎo)電防靜電材料生產(chǎn)托盤夾,表面電阻率為1E4-1E11歐姆,并具備較好的彈性。
托盤卡條
托盤卡條被廣泛使用于黑色耐高溫托盤,安裝在托盤側(cè)面。使用多種顏色并噴碼,用于芯片封裝測試過程中進(jìn)行目視化管理,區(qū)分良品不良品和計(jì)數(shù),它能大幅提高制程中的生產(chǎn)效率。
托盤卡條通常使用啟富塑膠的加纖/無纖防靜電本色PA和本色防靜電PP材料,能承受一定的高溫烘烤,并可定制豐富的色彩。
自吸附膠盒
自吸附膠盒是一種新型的微型元器件包裝解決方案,它用于光學(xué)材料、半導(dǎo)體元件、光電器件、微電子芯片、醫(yī)療器件等高科技易碎或高表面質(zhì)量產(chǎn)品的特殊存放和運(yùn)輸。它的上蓋采用透明防靜電ABS塑料,可實(shí)現(xiàn)免開蓋檢測和觀察內(nèi)部包裝器件;底殼采用透明防靜電ABS或黑色防靜電PC材料,并在底部灌封一層膠層,當(dāng)器件放入膠盒后就被自動(dòng)吸附在膠盒表面上,無需泡沫、海綿及其它填充材料,即使傾斜或者震動(dòng)都不會(huì)使器件脫落,從而避免震動(dòng)或碰撞損失器件。
啟富塑膠的透明防靜電ABS材料和黑色導(dǎo)電防靜電PC材料被廣泛用于生產(chǎn)自吸附膠盒。
啟富塑膠的導(dǎo)電防靜電塑料,可以根據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)不同產(chǎn)品要求定制不同性能的材料。我們?yōu)榭蛻籼峁﹥?yōu)秀的半導(dǎo)體材料解決方案,并為材料替代提供技術(shù)支持,以幫助客戶在安全性、自由設(shè)計(jì)度等領(lǐng)域取得成功,我們希望克服“思維孤島”和“麻將思維”,把我們?cè)趯?dǎo)電防靜電材料技術(shù)領(lǐng)域取得的新進(jìn)展和成果分享給更下游的終端產(chǎn)品制造商,充分發(fā)揮長臂灰度創(chuàng)新的特點(diǎn),同我們的更下游共同探討導(dǎo)電防靜電塑料在半導(dǎo)體領(lǐng)域及其他更多領(lǐng)域的應(yīng)用,為我們的客戶提高產(chǎn)品的競爭力和附加值一直是我們努力的方向和目標(biāo)。










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