靜電電壓衰減時(shí)間的定義
是帶電體上的電壓下降到其初始值的給定百分?jǐn)?shù)所需要的時(shí)間。
靜電電壓衰減時(shí)間測(cè)試的必要性
它是防靜電檢測(cè)項(xiàng)目中的一項(xiàng),不但能判定材料靜電泄漏性能優(yōu)劣,同時(shí)能彌補(bǔ)材料電阻不均勻性所引出電阻測(cè)試誤差。
在電子工業(yè)環(huán)境中的靜電產(chǎn)生形式不同,但在摩擦分離、靜電感應(yīng)、壓電效應(yīng)等過(guò)程中,電荷轉(zhuǎn)移、靜電電位升高會(huì)在瞬間完成,通常是以 ns來(lái)計(jì)算的,原因就在于帶電體的電容量很小;而靜電的衰減卻經(jīng)常是非常緩慢,這主要原因在于靜電泄漏電阻較大。靜電防護(hù)要解決的主要矛盾就是靜電積累,在這種情況下,分析靜電衰減時(shí)間是十分必要的。
靜電電壓衰減時(shí)間測(cè)試過(guò)程
第1步,使樣品帶電。
充電法:利用充電電極直接接觸樣品帶電。
噴電法:利用電暈放電的方法,使樣品表面積蓄電荷成為帶電體。
第2步,測(cè)量樣品初始電壓值。
利用非接觸式靜電場(chǎng)強(qiáng)計(jì)監(jiān)測(cè)電壓,達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的充電電壓數(shù)值后,將被測(cè)樣品表面接地,使用時(shí)間計(jì)數(shù)器開(kāi)始計(jì)時(shí)。
第3步,測(cè)量樣品初始電壓值。
用非接觸式靜電場(chǎng)強(qiáng)計(jì)監(jiān)測(cè)樣品電壓,直到樣品電壓下降到給定的百分?jǐn)?shù)時(shí)的電壓,記錄結(jié)束時(shí)間。
靜電電壓衰減時(shí)間測(cè)試依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)
國(guó)際上微電子行業(yè)廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)是ESD 體系標(biāo)準(zhǔn)IEC61340-5-1,它規(guī)定的靜電電壓衰減期為初始電壓±1000伏,衰減到10%(±100伏)時(shí)的衰減時(shí)間不大于2秒。
國(guó)內(nèi)的電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范SJ/T10694-2006和防靜電工作區(qū)技術(shù)要求GJB3007修訂版也是規(guī)定初始電壓從±1000伏,衰減到±100V,時(shí)間不大于2秒。
周轉(zhuǎn)容器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJ/T11277-2002規(guī)定導(dǎo)靜電類(lèi)靜電衰減時(shí)間不大于2秒,靜電耗散類(lèi)衰減時(shí)間不大于10秒。
離子靜電消除器的靜電消除時(shí)間,IEC61340-5-1和SJ/T10694-2006規(guī)定靜電消除時(shí)間小于20秒。
可熱封柔韌性防靜電阻隔材料規(guī)范GJB2605-96規(guī)定初始電壓±5000伏,衰減到±50V,時(shí)間不大于2秒。











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